Baudynamik bei Fertigungsstätten der Mikro- und Nanotechnologie
Projekte 2012
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Infineon Dresden
Standortevaluierung für ein neues Labor für schwingungs- und EMI-empfindliche Gerätschaften.
Projekte 2011
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AEMtec GmbH Berlin, Neubau Fertigung in Berlin Adlershof
Standortevaluierung und baudynamisches Konzept für den Neubau der Produktionsfläche am Standort Berlin Adlershof.
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Elmos Semiconductor AG, Dortmund
Baudynamische Beurteilung einer neuen REM-Labor Fläche in Bezug auf Erschütterungen und EMI-Felder und Vergleichsmessung eines REM-Labors im Bestand.
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LEICA Portugal
Standortevaluierung für ein neues Produktionsgebäude.
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First Sensor, Berlin
Messtechnische Untersuchung und Evaluierung der Aufstellfläche für einen Nikon Stepper.
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FAB-Gebäude, Global Foundries Abu Dhabi
Baudynamische Konzeption der neuen Halbleiterfabrik.
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Zeiss SMT, Oberkochen
Baudynamische Beratung für die geplanten Erweiterungsneubauten.
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Hitachi High-Technologies Europe GmbH, Dresden
Standortevaluierung im bestehenden Reinraum durch Messung von Erschütterungen, Schall, EMI und Temperatur.
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Infineon Villach
Baudynamische Konzeption des Erweiterungsneubaus.
Projekte 2010
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Infineon, Dresden
Vibration investigation and dynamic design of a foundation for a microbalance for wafers.
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Carl Zeiss SMS, Schwingungsmessung Japan
Standortevaluierung bezüglich Bauwerksschwingungen für die Aufstellung eines Gerätes zur Vermessung von Photomasken.
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FAB-Gebäude, Global Foundries Dresden: Modul 1, Erweiterung
Konzept und baudynamische Planung des neuen Reinraumgebäudes.
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X-FAB in Dresden
Schwingungsmessungen für die Beurteilung der Aufstellbedingungen zweier Rasterelektronenmikroskope und für ein Konzept für die zukünftige Aufstellung schwingungsempfindlicher Messsysteme im Reinraum.
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Bosch Solar Energy AG, Arnstadt
Baudynamische Beurteilung der Aufstellfläche für eine Zeiss Messmaschine.
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Schneider GmbH & Co. KG
Präzisionsschleiferei, Baudynamische Auslegung des UP-Bereiches (Ultrapräzisionsbereich).
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Leibniz-Institut für Polymerforschung Dresden e.V.
Fundamentdesign und Abnahmemessung für die Aufstellung eines Tools LT-STM auf einem Sonderfundament.
Texas Instruments Deutschland, München
Standortevaluierung und Fundamentmessung für drei Nikon Scanner.
Projekte bis 2009
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IBS Präzisionsmesstechnik, Eindhoven, Holland (2009)
Schwingungsuntersuchungen und Beratungen zum Neubau.
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Halbleiterfabrik Qimonda, Singapur (2008)
Dynamische Konzeption und Auslegung der Halbleiterfabrik mit 45 nm Fertigung, Baugrundmessungen der Schwingungspegel und Steifigkeiten, FEM-Analysen.
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Karl-Zeiss, Jena (2008)
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Boehringer Ingelheim Microparts, Dortmund (2005–2008)
Messtechnische dynamische Bauwerksanalyse des Altbaus und baudynamische Konzeption des Neubaus.
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Institut für Nanoforschung, Havanna, Kuba (2007)
Baudynamisches Konzept des Neubaus für Nanotechnik, Angabe der Bauwerksdimensionierung, Schwingungsmessungen vor Ort Messung der Bodenübertragung.
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Halbleiterfabrik für 45 nm–Strukturen, New York, USA (2007)
Schwingungstechnische Konzeption des Neubaus, Beratung, Konzept, 45 nm.
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Elmos Semiconductor AG, Dortmund, (2004)
Neubau des 4. Bauabschnittes, Halbleiterfertigung für Mikrostrukturen Baudynamische Auslegung des Waffeltisches, Schutz gegen Schwingungen aus der benachbarten Autobahn.
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Infineon, Power Fab, Kulim, Malaysia (2003/04)
Dynamische Konzeption und Auslegung der Halbleiterfabrik, Messungen, FEM-Analysen, Abnahme der Maßnahmen vor Ort, Nachmessungen.
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Carl Zeiss SMT AG, Oberkochen (2003)
umfangreiche Messungen und baudynamische Konzeption des Bauvorhabens, Spezielle Gründung zur Vermeidung der Erschütterungsübertragung aus der Bundesstraße.
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Infineon Headquarters Campeon (2003)
Neubau von Reinräumen mit strengen Schwingungsanforderungen, baudynamische Beratungen.
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AMD, Dresden, Neubau ATPC (2001)
Baudynamsiche Beratung, Berechnungen und Messungen für Neubau für 90 nm Strukturen.
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AMTC Advanced Mask Technology Centre (AMD, Qimonda, Toppan), Dresden (2001)
Baudynamische Konzeption des Neubaus, Messungen, Prognosen, Berechnungen.
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AMS Austria Micro Systeme, Graz, Österreich (2000)
Baudynamsiches Konzept für Chipfabrik unmittelbar neben einer Autobahn, Berechnungen, Messungen, Betreuung Neubaumaßnahme.
Umbau Halbleiterfabrik Mikron Zelenograd, Moskau (2006)
Standortevaluierung als Grundlage von Sanierungen des Reinraums und Nutzung für neue Technologien.
Die Referenzliste stellt lediglich einen Auszug unserer Projekte dar, sie ist nicht vollständig.